SM200 光学薄膜厚度测量仪

SM200 光学薄膜厚度测量仪

产品型号:SM200

负责人:廖文丽

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产品详情

综合概述:

SM200是一款利用薄膜反射光干涉原理研制而成的自动薄膜厚度测绘仪。 它利用波长范围宽为200-1700nm的光垂直入射到薄膜表面,只要

薄膜有一定程度的透射,SM200就能根据反射回来的干涉光谱拟合计算出薄膜的厚度,以及其他光学常数如反射率、折射率和消光系数等,

其厚度测绘范围可以达到1nm~250um。

SM200自动光学薄膜厚度测绘仪由测绘主机、测绘平台、Y型光纤及上位机软件搭建而成,核心器件采用高分辨率、高灵敏度光谱仪结合算法

技术,为用户提供自动光学薄膜厚度测量仪。


产品特征:

非接触式、非破坏性的测试系统;

超长寿命光源,更高的发光效率;

高分辨率、高灵敏度光谱仪,测量结果更准确可靠;

软件界面直观,操作方便省时;

历史数据存储,帮助用户更好掌握结果;

桌面式分布设计,适用场景丰富;

维护成本低,保养方便;


应用领域:

基本上光滑的、半透明的或低吸收系数的薄膜都可以测绘,包含了电介质和半导体材料,包括:氧化硅、氮化层、类钻薄膜、多晶硅、光刻

胶、高分子、聚亚酰胺、非晶硅等。


半导体镀膜:光刻胶、氧化物、淡化层、绝缘体上硅、晶片背面研磨;

液晶显示:间隙厚度、聚酰亚胺、ITO透明导电膜;

光学镀膜:硬涂层、抗反射层;

微电子系统:光刻胶、硅系膜状物、印刷电路板;

生物学:设备、Parylene



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