产品型号:NBD-HR1200-110TI
负责人:周贝贝
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设备简介：
快速退火炉简称 RTP（Rapid Thermal Processing Furnace），有快的升温速率，而且在烧结工艺运行结束后，直接将试样移动至室温下，实现物理状态下的快速降温。设备采用了内管进气、外管出气的气路结构，使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。退火炉是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的常用设备。测温元件直接和试样接触，确定试样温度的准确性。
配置详情：
| 双层钢结构； 高纯度Al2O3纤维耐火保温材料，节约能源； 耐火陶瓷上的高纯度氧化铝涂层可延长使用寿命； 氧化铝管塞可在管内建立自定义的温度梯度； | ||||||
产品型号 | NBD-HR1200-110TI | ||||||
电气规格 | AC380V 15KW | ||||||
可达温度 | 1100 ℃（长时间使用须外接水冷装置） | ||||||
连续温度 | 1000 ℃ （连续使用须外接水冷装置） | ||||||
可达加热速率 | 建议≤ 100 ℃/S | ||||||
加热区长度 | 200mm | ||||||
炉管尺寸 | Φ80*120mm | ||||||
控制系统 |
| 1.可预存15条温度曲线，避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦； 2.实验过程直观，操作便捷； 3.NBD-101E嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式，非线性式样温度修正； 4.具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能。 | |||||
温度精度 | +/- 1 ℃ | ||||||
加热元件 | | 红外灯管加热 | |||||
密封系统 |
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真空度：≤5Pa（机械泵） | |||||||
压力测量与监控 |
| 采用数显真空计，可使设备炉管内的真空度显示直观，实验结果准确。 | |||||
净重 | 90KG | ||||||
设备使用注意事项 | 1. 设备炉膛温度≥300℃时，移动炉膛后，禁止触碰原炉膛所在位置的石英管，避免受到伤害； 2. 设备炉膛温度≥300℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害； 3. 设备使用时，炉管内压力不得超过0.125MPa，以防止压力过大造成设备损坏； 4. 真空下使用时，设备使用温度不得超过800℃。 5. 供气钢瓶内部气压较高，向炉管内通入气体时，气瓶上须安装减压阀，建议在选购试验用小压力减压阀，减压阀量程为0.01MPa-0.15MPa,使用时会准确安全。 6.当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态； 7.高纯石英管的长时间使用温度≦1100℃ 8.加热的实验时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若压力表读数大于0.15MPa，须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉管破裂等） | ||||||
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