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高温TMDs 沉积一体机

产品型号:

负责人:周贝贝

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产品详情

设备简介：

该设备主要应用于过渡金属二硫化物材料制备。设备分两个温区，高温区用于硫粉的蒸发，低温区用于MoO3的蒸发及硫化物的沉积。适当调整衬底和蒸发源的距离、蒸发温区的温度及进气流量，可得到大面积的单层二硫化物材料。本设备仍可作为满足实验参数的常规CVD设备使用。

技术参数：

	1.炉体与控制系统集成一体化，使试验方便快捷直观。 2.配置两路质量流量计混气气路，可以单设置气体流量。 3.PID程序多段控制，实现不同工艺多段温度时间监控。 4.炉衬采用高纯氧化铝轻质纤维材料。 5.配备机械泵或分子真空泵，可以实现不同的真空条件。
炉体尺寸	1100mm×1250mm×750mm(宽×高×深）
刚玉管尺寸	Φ80*1000mm
主控升温速率	建议≤10℃/min
使用温度	1200℃以下可长期使用
控温精度	±1℃
Z高温度	1100℃
加热元件	高温合金丝
加热功率	5KW
主控炉膛材料	高纯多晶纤维复合耐火保温层
主控炉膛模式	开启式
密封方式	不锈钢密封法兰
测温元件	K型热电偶
加热温区长度	双温 210mm*2
操控模式	NBD-101E嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7英寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式；
温度曲线设置	主加热可预存15条温度曲线，每条曲线可设置30段"时间—温度曲线"，实时监控，动态真实显示“时间-温度曲线”
温度校正	主控控温温度和试样温度的差值，系统全程进行非线性修正（询问客户常用温度点，做效验）
真空泵类型	直联旋片式真空泵（双级旋片）
抽气速率	4(L/s)
进排气连接口	KF16/25（mm）
用油量	0.6～1L
电机转速	1440（rpm）
工作环境温度	5～40℃
噪音（dB）	≤56
真空计类型	数显真空计
系统真空	3~5pa （另选配分子泵可达6.3*10-3pa）
流量计类型	2路质量流量控制器 300SCCM,500SCCM, 可根据客户需求选择流量范围
气路管芯	不锈钢气体管道（1/4"）
调节阀类型	手动调节阀
管道常态	常闭
测量精度	±1.0%F.S
精度保证温度	15～35℃
系统保护	超温报警，过流保护，断偶提示
电气规格	220V 50Hz 5KW
随机产品配置	石英炉管1根，炉塞1套，炉钩一只，说明书1份;随机工具等。
控制系统		1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置； 2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结； 3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录； 4、具有实现远程操控，实时观测设备状态； 5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。

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