产品型号:NBD-O1200-80T3GF
负责人:周贝贝
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设备简介：
三温区管式炉为满足各类CVD工艺的要求，将多个温区的控制仪表融合到了智能控制系统里边，通过轻轻点击触摸屏即可完成参数设定。在满足不同温区梯度控制的同时，还可将多个温区设定为同一温度点，作为加长的单温区使用。
配置详情：
| 1. 双层钢结构； 2. 高纯度Al2O3纤维耐火保温材料，节约能源； 3. 耐火陶瓷上的高纯度氧化铝涂层可延长使用寿命； 4. 氧化铝管塞可帮助您在管内建立自定义的温度梯度。 | |||||||||
产品型号 | NBD-O1200-80T3GF | |||||||||
电气规格 | AC380V 2KW+4KW+2KW | |||||||||
可达温度 | 1200 ℃ （<1小时） | |||||||||
连续温度 | 1100 ℃ （连续） | |||||||||
可达加热速率 | ≤ 20 ℃/分钟 | |||||||||
加热区长度 | 200mm+400mm+200mm（三温三控：每个温区均可运行） | |||||||||
炉管尺寸 | Φ80*1400mm | |||||||||
控制系统 |
| 1.可预存15条温度曲线，避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦； 2.实验过程更加直观，操作更加便捷； 3.NBD-101E嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式，非线性式样温度修正； 4.具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能。 | ||||||||
温度精度 | +/- 1 ℃ | |||||||||
加热元件 |
| Mo掺杂的Fe-Cr-Al合金 | ||||||||
密封系统 |
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真空度：≤10Pa（机械泵） | ||||||||||
压力测量与监控 | | 采用带有减震油的机械压力表，使压力波动时产生阻尼，减小指针来回摆动。 | ||||||||
供气系统 |
| 采用浮子流量计控制气体流速，与设备一体化，方便控制，且出厂前已进行漏气测试工作。 | ||||||||
净重 | 90KG | |||||||||
设备使用注意事项 | 1. 设备炉膛温度≥300℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害； 2. 设备使用时，炉管内压力不得超过0.125MPa，以防止压力过大造成设备损坏； 3. 真空下使用时，设备使用温度不得超过800℃。 4. 供气钢瓶内部气压较高，向炉管内通入气体时，气瓶上须安装减压阀，建议在选购试验用小压力减压阀，减压阀量程为0.01MPa-0.15MPa,使用时会准确安全。 5.当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态； 6.高纯石英管的长时间使用温度≦1100℃ 7.加热的实验时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，压力表读数不要大于0.15MPa，须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等） | |||||||||
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